CMPA系列滤芯利用独特的卷绕设计,能够对CMP的slurry精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长滤芯使用寿命。
优点特性
低析出
完全由聚丙烯材料构成,利用热粘合技术,不使用粘合剂,极少的溶出物,有效控制溶出物析出。
梯度过滤结构
由外到内的梯度设计,避免了凝结的slurry过快堵塞滤膜表层,充分利用纳污空间。
有效过滤
独特的卷绕设计,能够实现对CMP的slurry精准过滤。高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。
防止纤维脱落
特有的网罩结构,防止了滤芯的纤维脱落。
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工作特性
滤材 | 聚丙烯 |
端盖/中心杆/外壳 | 聚丙烯 |
最高工作温度 | 80℃ |
最大工作压差 | 4.0 bar/ 21℃ 2.4 bar/ 80℃ |
流量特性
订购信息